产品名称

2200℃高温顶部籽晶溶液生长炉（TSSG）

主要参数

加热系统：
·工作电压:三相380VAC，50Hz(需配60A空气开关）
·加热电流:3-28A(需配60A空气开关）
·最大输入功率:15KW 
·振荡频率:20-100KHZ（固定频率） 
·感应线圈:220mm(ID)x65mm(H) 
·空气冷却:后风扇
·保护系统：带有自动水压、过热、功率过高保护

控温系统：
·采用欧陆仪表Eurotherm控制温度，控温精度可以达到±0.1℃；
·采用PID方式控温，可设置28段升降温程序
·采用一根C型热电偶进行测温，热电偶位置设置在石墨坩埚底部。
·最高加热温度：2200℃（＜1小时）
·长期使用温度：2000℃

石英腔体和密封法兰系统：
·采用石英腔体作为实验环境，上下两端不锈钢密封法兰，保障了石英腔室的密封
·石英管尺寸：φ216mm(OD)*φ206mm(ID)*500mm(H)
·法兰采用氟胶密封圈密封
·石英管外安装有金属防护罩，防护罩上面有观察窗口，便于观察石英管内部晶体的生长情况。

石墨坩埚和保温材料：
·高纯石墨坩埚:114mmODx100mmIDx142mmHeight,  
·最大容量：样品所占容积应该是石墨坩埚容积的2/3，可生长直径φ2”*高度100mm以下的单晶晶体；
·保温层：石墨坩埚外环绕三层石墨毡隔热材料，从里到外分别为三层石墨毡，总厚度为45mm，
石墨保温毯（可耐温2200℃）注意:石墨坩埚是易耗件

 提拉机构：采用伺服电机提拉系统
（提拉速度更为均匀稳定，改善单晶生长质量）
•提拉速度：0.8-50mm/h
•提拉杆转速：0.1-23r/min
•快速升降速度：40mm/min
•提拉行程：300 mm
上部提拉密封系统，采用真空波纹管密封，可以实现在真空密封环境下进行提拉法生长晶体；

真空系统（选配）：
·机械泵：无油干泵或油泵
·型号：nXDS15i
·理论抽气速率：17.1 m3/h
·极限真空度：0.8 Pa（不带负载）
·2 Pa(带石英腔体负载状态)
·泄露率（pa·m3/s）：＜1×10-7
·电机功率：300W
·额定转速：1800rpm
·外形尺寸：450×300×320（L×W×H）
·分子泵型号：FF-160/700
·抽气速率：700L/S
·极限压强：6×10-7 Pa（不带负载）
·启动时间：＜4min
·额定转速：36000转/分
·冷却方式:：风冷/水冷
·抽气口接口尺寸：KF40