产品名称

坩埚移动管式炉OTF-1200X-DVD

产品型号

OTF-1200X-DVD

主要参数

加热炉系统：
· 输入电源 AC 单相220V 50/60HZ，最大功率：3.5KW 
· 最高工作温度：1200℃（＜30min)，长期工作温度：1100℃ 
· 热电偶两根：两根进口K型热电偶，一根用于炉子控温，一根检测样品温度。 
· 加热元件：掺钼铁铬铝合金 
· 加热区长度：400mm 
· 推荐升温速率：10℃/min 
· 石英管 外径80mm x内径74mm x 1000mm L 
· 包含一款518P型温度控制器(也可选配欧陆仪表恒温精度可达±0.1℃） 
· PID自动控温系统 
· 智能化30段可编程控制 
· 控温精度：±1℃
· 默认DB9 PC通信连接端口

不锈钢密封法兰系统：
·不锈钢密封法兰，密封法兰和石英管之间采用硅胶O型圈+压环型圈密封方式。 
·左端法兰装有机械压力表和进气截止阀，1/4英寸进气口，用卡箍连接，方便拆卸，如下图。 
·左端法兰和无杆气缸连接侧有石英隔热挡板和石英坩埚，热电偶测温点位于样品正下方，如下图 
·左端法兰+无杆气缸放置在直线滑台上。 
·右端法兰上装有出气截止阀，一个KF25接口用于抽真空。

坩埚移动+PLC系统：
· 通过触摸屏可视化控制操作 
· 一个K型的铠装热电偶通过法兰伸入到炉管中，并可随坩埚移动，可实时监测样品的实际温度。 
· 通过步进电机移动炉管内的坩埚（样品台），最大行程为200mm。（根据无杆气缸组件配不同的炉子行程不同，客户可定制行程） 
· 通过触摸屏设定坩埚一定的距离和目标位置，坩埚移动速度为180mm/min（可根据要求提供变速控制，需要定制速度购买前请与销售沟通，但需额外付费）。 
· 在热电偶上安装了一个微型坩埚舟。 
· 可根据要求提供用于晶片的氮化铝样品架或石墨平板基底支架，将收取额外的定制费

真空系统（选配）：
· 配套机械泵，真空度可以达到10-2 ttor 
· 配套分子泵，真空度可以达到10-5 ttor

产品尺寸：
外形尺寸：2400X450X700mm（长*宽*高）

认证：
· 此产品已通过CE认证
证书编号：M.2021.206.C67998