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  • 产品名称: 8.5″带滑动法兰真空管式炉GSL-1100X-8.5-SR
  • 上架时间: 2017-05-05
  • 产品编号: 04010005
  • 浏览次数: 45

产品简介:8.5带滑动法兰真空管式炉GSL-1100X-8.5-SR是三温区滑轨真空管式炉,可通入混合气体进行低压力化学气相沉积处理。本机可在不同气氛下,在最大6″的基片上生长多种薄膜。

控温仪表操作视频

 

产品型号

8.5带滑动法兰真空管式炉GSL-1100X-8.5-SR

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:需要选配冷水机

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气:如作为CVD系统使用,需自备气源(标准带有宝塔接头,可自费改制成为双卡套接头)

4、工作台:尺寸2000mm×600mm×700mm,承重400kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

1双层壳体,配有循环风冷系统。炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能壳体温度<70℃。

2滑轨式法兰结构,方便取放样品。

3设有K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统。

4采用PID控制器,可以设置30段升降温程序。

5右端法兰装载石英管堵,用以阻止热辐射;左端法兰上设有4片磨砂石英挡片,用于阻止热辐射。

6已通CE认证。

技术参数

1电源:单相220V 8KW

2、石英管:外径Ø216mm,内径Ø208mm,长1300mm

3、加热元件:Ni-Cr-Al电阻丝

4、加热区域:600mm

5恒温区域200mm

6工作温度:最高1100连续工作400-1000

7、最大升降温速率:10/min

8、控温精度:±1

9、真空度:10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵)

10热偶检测真空接口:KF-25口:1

11进气接口:5路,精密不锈钢针阀密封

12炉体:1300mm×680mm×920mm

13滑轨:600mm

产品规格

尺寸:1780mm×1780mm×1650mm重量:354kg

标准配件

1

石英管堵

1

2

KF-25真空挡板阀

1

3

KF-40不锈钢波纹管

1

可选配件

1软件接口模块和PC

2K型热电偶(Ø6.35mm×915mm,用于对炉膛温度校准)

3冷水机

4、高速双极旋片泵

5、数显真空计

6、高真空机组(机械泵和涡轮分子泵)

5质量流量供气系统

6、石英样品架

7、可移动炉架(800mm×600mm

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