欢迎来到沈阳科晶自动化设备公司官方网站
加入收藏|网站地图|留言反馈
产品分类
产品分类
关键字:
首页管式炉系列1000℃-1100℃管式炉 > 8.5″单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-8.5-S
  • 产品名称: 8.5″单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-8.5-S
  • 上架时间: 2017-05-05
  • 产品编号: 04010004
  • 浏览次数: 47

QQ交流

产品简介:8.5单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-8.5-S是一款炉管外径为8.5 的真空管式炉可以在不同气氛下,在最大6″的基片上生长多种薄膜。

 

产品型号

8.5单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-8.5-S

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气:如作为CVD系统使用,需自备气源(标准带有宝塔接头,可自费改制成为双卡套接头)

4、工作台:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重300kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

1双层壳体,配有循环风冷系统。炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能壳体温度<70℃。

2采用不锈钢真空密封法兰,使用双硅胶密封圈进行密封

3设有K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统。

4采用PID控制器,可以设置30段升降温程序。

5已通过CE认证。

技术参数

1电源:AC 220V  8KW

2、石英管:外径Ø216mm,内径Ø208mm,长1016mm

3、加热元件:Ni-Cr-Al电阻丝

4、加热区域:600mm

5恒温区域200mm

6工作温度:最高1100连续工作400-1000

7、最大升降温速率:10/min

8热电偶:双K

9、控温精度:±1

10、真空度:10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵)

11、铠装热偶检测口:1

12、真空接口:KF40

产品规格

尺寸:1000mm×680mm×920mm重量:250kg

标准配件

1

石英管

1

2

氧化铝管堵

2

可选配件

1软件接口模块和PC

2石英管

3石英管堵

4K型热电偶Ø6.35mm×915mm,用于对炉膛温度校准)

5真空泵


 

相关产品
无此相关商品!

免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等),仅供参考。可能由于更新不及时,或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异,请与本公司销售人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知。