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  • 产品名称: 2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2
  • 上架时间: 2017-05-05
  • 产品编号: 03990605
  • 浏览次数: 39

产品简介:2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2可安装直径为2"的靶材,适用靶材种类较广,如金属/绝缘靶或磁性/非磁性靶材。配装有环形NdFeB永磁体在溅射头上,以保证溅射镀膜的效率和均匀性。可与DCRF电源配合使用。

 

 

产品型号

2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2

主要特点

1、采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作。

2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体,以得到较高的磁场强度和均匀分布。

3、磁体表面涂有保护层,以防止冷却水的腐蚀,延长其使用寿命。

4、标准的HN型接头,可与DCRF电源相匹配。

5、安装采用标准真空接头,便于操作。

6、靶材更换较为简单,无需调整溅射头的高度。

技术参数

1、阳极护罩直径:Ø3.5"

2所用靶材:直径2"(50.8mm),非磁性靶最大厚度1/4",磁性靶最大厚度1/16"      

3磁铁:NdFeB稀土永磁体

4、靶材利用率:30%

5、所需功率:DC最大1000WRF最大500W

6、溅射电流:最大3A

7、溅射电压:100V-1000V

8、溅射时腔体真空度:5mtorr-100mtorr

9、溅射均匀性曲线:

                 

10、水冷却:水管外径0.25",流速0.8GPM,进水温度<20℃                    

产品规格

       

可选配件

1、循环水冷机,流量为16L/min,水箱容积为6L

2、同时购买300W射频发射器和2"磁控溅射头时,本司赠送1个高真空快速接头。接头内径为0.75",可将溅射

  头安装在真空腔体上,真空腔体上的安装孔直径为1",真空腔体的壁厚不得大于1"

         

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