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  • 产品名称: TFMS-LD反射光谱薄膜测厚仪
  • 上架时间: 2017-05-03
  • 产品编号: 03990702
  • 浏览次数: 57

产品简介:TFMS-LD是一款反射光谱薄膜测厚仪,可快速精确地测量透明或半透明薄膜的厚度,其测量膜厚范围为15nm-50um,仪器所发出测试光的波长范围为400nm-1100nm。此款测试系统理论基础为镜面反射率,并且采用光纤反射探头。仪器尺寸小巧,方便于在实验室中摆放和使用。

操作视频

产品型号

  TFMS-LD反射光谱薄膜测厚仪

测量膜厚范围

15nm-50um

光谱波长

400 nm - 1100 nm

主要测量透明或半透明薄膜厚度

  • 氧化物
    氮化物
    光刻胶
    半导体(硅,单晶硅,多晶硅等)
    半导体化合物(ALGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS等)
    硬涂层(碳化硅,类金刚石炭)
    聚合物涂层(聚对二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)
    金属膜

  •       

特点

  • 测量和数据分析同时进行,可测量单层膜,多层膜,无基底和非均匀膜

  • 包含了500多种材料的光学常数,新材料参数也可很容易地添加,支持多重算法:

    Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等

  • 体积较小,方便摆放和操作

  • 可测量薄膜厚度,材料光学常数和表面粗糙度

  • 使用电脑操作,界面中点击,即可进行测量和分析

精度

0.01nm或0.01%

准确度

0.2%或1nm

稳定性

0.02nm或0.02%

光斑尺寸

标准3mm,可以小至3um

要求样品大小

大于1mm

分光仪/检测器

400 - 1100 nm 波长范围

光谱分辨率: < 1 nm

电源 100-250 VAC, 50/60 Hz 20W

 

 

光源

5W的钨卤素灯

色温:2800K

使用寿命:1000小时

反射探针

光学纤维探针,400um纤维芯

配有分光仪和光源支架

载样台

测量时用于放置测量的样品

 

通讯接口

USB接口,方便与电脑对接

 

TFCompanion软件

强大的数据库包含两500多种材料的光学常数(n:折射率,K:消失系数)

 

误差分析和模拟系统,保证在不同环境下对样品测量的准确性

可分析简单和复杂的膜系

 

 

 

设备尺寸

200x250x100mm

重量

4.5kg

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