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  • 产品名称: EQ-TM106膜厚监测仪
  • 上架时间: 2017-05-03
  • 产品编号: 03990701
  • 浏览次数: 74

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产品简介:EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理,结合先进的频率测量技术进行膜厚的在线监测。主要用于MBEOLED热蒸发、磁控溅射等设备薄膜制备过程中用于膜层厚度及镀膜速率进行实时监测EQ-TM106膜厚监测仪根据制备薄膜的实时速率可以输出PWM(脉冲宽度调制)模拟量,作为膜厚传感器使用,与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制,从而检测所制备薄膜的厚度EQ-TM106膜厚监测仪体积小巧可节省实验室空间,原理简单,操作方便,尤其适合于实验室中薄膜制备过程的使用。 

 

产品名称

EQ-TM106膜厚监测仪

产品型号

EQ-TM106

主要特点

1可与计算机连接

2显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点,可直观显示所测的膜厚、速率、频率、PWM控制输出的百分比等工作状态

3通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置,并可将所测相关数据写入Excel文件

4具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。

技术参数

EQ-TM106-1监测组件

1、电源:DC  5V(±10%最大电流400mA

2、频率分辨率:±0.03Hz

3、膜厚分辨率:0.0136Å

4、膜厚准确度:±0.5%,取决于过程条件,特别是传感器的位置,材料应力,温度和密度

5、测量速度:100ms-1s/可设置

6、测量范围:500000Å(

7、标准传感器晶体:6MHz

8、计算机接口:RS-232/485串行接口波特率12002400480096001920038400可设置数据位8停止位1校验

9、模拟输出:8比特分辨率PWM脉宽调制输出集电极开路或内部5V输出

10、工作环境:温度0-50℃,湿度5%-85%RH,不得有冷凝水珠

11、外形尺寸:90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2显示仪

1、输入电源:AC 220V±10%

2、输出电源:DC  5V  3A

3、显示器:12×2数码管LED

4、通讯端口:RS-485波特率12002400480096001920038400设置,数据位8停止位1奇偶校验

5、外形尺寸:182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3探头

1、适用晶片频率:6MHz

2、适用晶片尺寸:Ø14mm

3、安装法兰:CF35

4、冷却水管:Ø3mm,长度300mm500mm1000mm

5、冷却水压:<0.3MPa

6、气动挡板路管:Ø3mm

7、压缩空气压力:<0.8MPa>0.5MPa

8、烘烤温度:通水状态<200℃,不通水状态法兰<100

9、电气接口:BCN插座

标准配件

1

EQ-TM106-1监测组件

1

2

EQ-TM106-2显示仪

1

3

EQ-TM106-3探头

1

 

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