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  • 产品名称: PCE-6V小型等离子清洗机
  • 上架时间: 2017-05-02
  • 产品编号: 11040205
  • 浏览次数: 65

产品简介:PCE-6V小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术,采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵,清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面,可短时间内彻底清洗掉有机污染物,清洗程度可达到分子级。另外,其样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。此外,其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。

产品型号

 PCE-6V型等离子清洗机

主要特点

   1采用气体作为清洗介质,避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染

   2可短时间内彻底清洗掉有机污染物

   3清洗程度可达到分子级

   4可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能

   5清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌。

   6样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。

   7广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。

技术参数

   1电压:AC220V  10A

   2、消耗功率:<500W(包括真空泵)

   3RF电源:输出功率100W,输出频率13.56MHz

   4、腔体:Ø190mm×98mm

   5、石英管:Ø180mm×55mm,壁厚7mm

   6、内腔:Ø165mm×55mm

   7清洗电极:Ø120mm

   8、样品台:Ø150mm,有效尺寸Ø140mm

   9、样品台与电极间距:15mm-50mm可调

   10抽气管:Ø12mm

   11极限真空度:0.1Pa

   12工作真空度:60Pa-500Pa

   13气路数量:2路(选装)

   14流量控制器数量:12

   15流量显示仪:2通道

   16气路接口:Ø6mm

   17加热样品台:Ø140mm,加热样品温度RT-600℃±1℃(选装)

   18冷却水压力:0.2KPa-0.4KPa

   19工作环境:温度5-35℃,湿度<80%(相对湿度)不结露,海拔高度0-2000m

产品规格

 尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵),重量:20kg(不含真空泵)

可选配置

   1、加热样品台

   2、流量控制器(量程1050100,最多可增加2个通道)

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