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首页薄膜生长设备薄膜生长清洗设备等离子清洗机 > PCE-6V小型等离子清洗机
  • 产品名称: PCE-6V小型等离子清洗机
  • 上架时间: 2017-05-02
  • 产品编号: 11040205
  • 浏览次数: 95

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产品简介:PCE-6V小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术,采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵,清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面,可短时间内彻底清洗掉有机污染物,清洗程度可达到分子级PCE-6V小型等离子清洗机的样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现对样品的离子蚀刻。此外,其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。设备体积小,操作简单,应用广泛。

产品名称

PCE-6V小型等离子清洗机

产品型号

PCE-6V

主要特点

1采用气体作为清洗介质,避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染

2可短时间内彻底清洗掉有机污染物

3清洗程度可达到分子级

4可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能

5、清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌。

6样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。

7、广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。

技术参数

1电压:AC220V  10A

2消耗功率:<500W(包括真空泵)

3RF电源:输出功率100W,输出频率13.56MHz

4、腔体:Ø190mm×98mm

5、石英管:Ø180mm×55mm,壁厚7mm

6、内腔:Ø165mm×55mm

 7、清洗电极:Ø120mm 

8、样品台:Ø150mm,有效尺寸Ø140mm

9、样品台与电极间距:15mm-50mm可调

 10、抽气管:Ø12mm

 11、极限真空度:0.1Pa

 12、工作真空度:60Pa-500Pa

 13、气路数量:2路(选装)

 14、流量控制器数量:12

 15、流量显示仪:2通道

 16、气路接口:Ø6mm

 17、加热样品台:Ø140mm,加热样品温度RT-600℃±1℃(选装)

 18、冷却水压力:0.2KPa-0.4KPa

 19、工作环境:温度5-35℃,湿度<80%(相对湿度)不结露,海拔高度0-2000m

产品规格

尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵),重量:20kg(不含真空泵)

可选配置

1、加热样品台

2、流量控制器(量程1050100,可增加通道数≤2

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