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  • 产品名称: PCE-8等离子清洗机
  • 上架时间: 2017-05-02
  • 产品编号: 11040204
  • 浏览次数: 49

产品简介:PCE-8等离子清洗机是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 Ø8.5 "×12"的石英腔体,采用的射频电源功率0- 100W连续可调节。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

 

 

产品型号

PCE-8等离子清洗机

主要特点

16"彩色触摸屏,可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵的开启等

2部配有0-500mm/min的质量流量计,可以精确地控制进气流量

技术参数

1电源:AC220V

2、射频功率:最大100W,可在0-100W间调节

3、真空泵功率:<500W

4、总功率:<600W

5、射频:13.56MHz

6、等离子腔体:高纯石英腔体,外径Ø8.5",内径Ø8.2",长12",采用铝制折叠式法兰进行真空密封,法          兰设有一个Ø60mm的观察窗口

7、极限真空度:50mtorr

8、通入气体:可通入多种气体,如N2ArAirH2O2和混合气体等等(根据材料性质所定)

清洗及蚀刻

产品规格

尺寸:620mm×450mm×600mm

标准配件

1、直连式双旋真空泵(240L/min

2KF25波纹管

3KF25手动挡板阀

可选配件

1300W600W射频电源(进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验)

22"-6"石英舟(盛放基片)

32-4通道浮子混气系统

42-4通道质子混气系统

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