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  • 产品名称: PCE-8等离子清洗机
  • 上架时间: 2017-05-02
  • 产品编号: 11040204
  • 浏览次数: 61

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产品简介:PCE-8等离子清洗机是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 Ø8.5"×12"的石英腔体,采用的射频电源功率0- 100W连续可调节,采用的射频为13.56MHz。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备在单晶材料外延薄膜生长以前对其进行预处理,对生长具有显著的作用PCE-8等离子清洗机配有一个直连式双旋真空泵,可对腔体进行抽真空,同时通入氩气等保护气体,适用于对易氧化的物品的清洗。

  

产品型号

PCE-8等离子清洗机

主要特点

16"彩色触摸屏,可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵的开启等

2部配有0-500mm/min的质量流量计,可以精确地控制进气流量

技术参数

1电源:AC220V

2、射频功率:最大100W,可在0-100W间调节

3、真空泵功率:<500W

4、总功率:<600W

5、射频:13.56MHz

6、等离子腔体:高纯石英腔体,外径Ø8.5",内径Ø8.2",长12",采用铝制折叠式法兰进行真空密封,法          兰设有一个Ø60mm的观察窗口

7、极限真空度:50mtorr

8、通入气体:可通入多种气体,如N2ArAirH2O2和混合气体等等(根据材料性质所定)

清洗及蚀刻

产品规格

尺寸:620mm×450mm×600mm

标准配件

1、直连式双旋真空泵(240L/min

2KF25波纹管

3KF25手动挡板阀

可选配件

1300W600W射频电源(进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验)

22"-6"石英舟(盛放基片)

32-4通道浮子混气系统

42-4通道质子混气系统

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