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  • 产品名称: 1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV
  • 上架时间: 2017-05-02
  • 产品编号: 03050611
  • 浏览次数: 33

产品简介:1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV是由单温区管式炉、两路质子混气系统和高真空机组组成,最高工作温度可达1600℃,混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入管式炉内部,本系统极限真空度可达10-5 torr

 

产品型号

1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气:设备腔室内需充注气体,需自备气瓶气源

4、工作台:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

1双层壳体,配有风冷系统,壳体温度<55℃。

2采用高纯氧化铝纤维,有效减少热量损失。

3内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高加热效率和使用寿命

4PID控制器 ,可以设置30段升降温程序。

5已通CE认证。

技术参数

管式炉

1电源:单相AC 208V-240V   50Hz/60Hz  6KW

2、炉管:高纯氧化铝陶瓷管,外径Ø100mm,内径Ø92mm,长1000mm

3、加热元件:1800℃硅钼棒8

4、加热区域:457mm

5、恒温区域:150mm

6工作温度:最高1650连续工作1600

7、最大升温速率:≤5/min

8、控温精度:±1

9、热电偶:B

10、不锈钢真空法兰:1

11、机械压力表:1

12、针阀:2

13、连接器:KF-251

14、抽气接口:KF-25KF-40

15、卡套接头:1/4

高真空机组

1、电源:单相AC208V-240V  50Hz/60Hz  100W-110W

2、真空泵:德国Pfeiffer真空泵

3、显示屏:LCD数字显示

4、抽气速率:N2-33L/sHe-39L/sH2-32L/s

5、工作范围:1000mtorr-10-7mtorr

6、极限:10-8mtorr(无泄漏)

质量流量混气系统

1、电源:单相AC208V-240V  50Hz/60Hz   18W

2、功率:18W

3混气箱:Φ80mm×120mm

产品规格

尺寸:管式炉550mm×380mm×520mm,高真空机组600mm×600mm×700mm

   质量流量混气系统600mm×600mm×700mm

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