024-23826163

E-mail:kejing@sykejing.com

关键字: 商品属性:
产品分类
产品分类
友情链接
商品展示
  • 产品名称: 高真空CVD系统OTF-1200X-80-C2HV
  • 上架时间: 2017-04-28
  • 产品编号: 03050604
  • 浏览次数: 46

产品简介:高真空CVD系统OTF-1200X-80-C2HV是由单温区管式炉、两路质子混气系统和高真空机组组成,最高工作温度可达1200℃,混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入管式炉内部,本系统极限真空度可达10-5 torr

 

产品型号

高真空CVD系统OTF-1200X-80-C2HV

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气:设备腔室内需充注气体,需自备气瓶气源

4、工作台:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

1层壳体,配有风冷系统,壳体温度<60℃。

2内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高反射率和保护炉膛洁净度

3PID控制器,可以设置30段升降温程序。

4质量流量系统采用316不锈钢制作而成

5已通过CE认证。

技术参数

管式炉

1电源:AC 220V   50Hz/60Hz

2、石英管:外径Ø80mm,内径Ø75mm,长1000mm

3、加热元件:掺钼铁铬铝合金电阻丝(表面涂有氧化锆)

4、加热区域:440mm

5、恒温区域:150mm

6工作温度:最高1200连续工作1100

7、最大升降温速率:20/min

8、控温精度:±1

9、热电偶:K

高真空机组

1、壳体:600mm×600mm×700mm,最大承重275kg

2、真空泵:德国Pfeiffer真空泵

3、显示屏:LCD数字显示

4、抽气速率:N2-33L/sHe-39L/sH2-32L/s

5、工作范围:1000mtorr-10-7mtorr

6、极限:10-8mtorr(无泄漏)

质量流量混气系统

1、电源:单相AC208V-240V  50Hz/60Hz

2、功率:18W

3尺寸:600mm×600mm×700mm

4混气箱:Ø80mm×120mm

免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等),仅供参考。可能由于更新不及时,或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异,请与本公司销售人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知。

企业荣誉
Company honor

 

销售咨询

郑先生 郑先生


张先生 张先生


康先生 康先生


关先生 关先生


孙先生 孙先生


曲先生 曲先生


耗材咨询

吕小姐 吕小姐

耗材销售1 耗材销售1


技术咨询

刘小姐 刘小姐


售后咨询

章先生 章先生


 工作时间

 周一至周五:

  8:00-11:30

 12:30-17:00