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  • 产品名称: 开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV
  • 上架时间: 2017-04-28
  • 产品编号: 03050603
  • 浏览次数: 28

产品简介:开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV是由开启式单温区管式炉、机械泵、三通道浮子混气系统组成,可为CVD或扩散实验提供1-3种的混合气体,真空度可达10-2torr

 

产品型号

开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好

3、气:设备腔室内需充注气体,需自备气瓶气源

4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重150kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

1层壳体,配有循环风冷系统,壳体温度<60℃。

2内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高加热效率,同时延长使用寿命

3PID控制器 ,可以设置30段升降温程序。

4设有超温及断偶报警功能

5已通CE认证。

技术参数

1电源:AC 220V   50/60Hz  2.5KW

2、石英管:外径Ø80mm,内径Ø75mm,长1000mm

3、加热元件:掺钼铁铬铝合金电阻丝

4、加热区域:440mm

5、恒温区域:150mm

6工作温度:最高1200连续工作1100

7、最大升降温速率:20/min

8、控温精度:±1

9、真空度:5.5×10-3torr(机械泵),10-4torr(分子泵)

10、泄漏率:<5mtorr/min

11、浮子流量计3个;10ml/min-100ml/min16ml/min-160ml/min25ml/min-250ml/min

12、压力表:4

产品规格

尺寸:管式炉550mm×380mm×520mm,混气系统600mm×600mm×597mm;重量:60kg

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