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  • 产品名称: VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪
  • 上架时间: 2017-04-28
  • 产品编号: 03050208
  • 浏览次数: 117

产品简介:VTC-16-3HD3靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子薄膜溅射仪(直流普通型),控制面板采用触摸屏模式,基片最大尺寸2,放置样品的直径为Ø50mm,加热温度达500℃。本机可溅射金、银、铜三种靶材,并采用旋转式样品台,能够依次在同一样品上涂覆三层薄膜。

 

产品型号

   VTC-16-3HD  3靶等离子溅射仪

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好

3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上)清洗,需自备氩气气瓶

4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

   1PLC面板,4.3触摸屏,PID控温方式。

   2、可控参数包括真空度、电流、靶材位置、基片加热温度。

   3、可与真空泵、不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍连用。

   4、已通过CE认证。

技术参数

   1、输功率:110V/220V通用   2000W(含真空泵)

   2、输出功率:1600VDC  50mA(最大电流)

   3、石英罩:Ø160mm×120mm

   4品台:Ø50mm(可选购加热型样品台,最高温度可到500℃;最长溅射时间不可超过5min

   5、真空泵:120L/M旋片式真空泵

   6、进气口:装有精密可调针阀,以实现方便的调节进气量

   7材:尺寸直径Ø47mm,厚度0.1mm-3mm;可溅射AuAgPtCrNi,不可溅射氧化物、半导体、一些轻

         金属、AlZnC

产品规格

 尺寸:360mm×350mm×3600mm;重量:50kg

可选配件

   1KF25真空接口、卡箍

   2、不锈钢波纹管(600mm

   3、旋片式真空泵(120L/M

   4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材

   5、加热型样品台


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