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  • 产品名称: GSL-1100X-SPC-12H加热型等离子薄膜溅射仪
  • 上架时间: 2017-04-28
  • 产品编号: 03050207
  • 浏览次数: 65

产品简介:GSL-1100X-SPC-12H加热型等离子薄膜溅射仪专门为在基底上镀金属膜(如金、铂、铟、银等)而设计,最大放置样品尺寸直径为40mm,膜厚可达300Å,特别适用于为SEM样品镀金而作为导电极。

 

产品型号

    GSL-1100X-SPC-12H加热型等离子薄膜溅射仪

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好

3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上)清洗,需自备氩气气瓶

4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

    12L/s双旋片机械泵,出气口装有立式油雾过滤器,过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵的损耗,保护环 境和人体健康。

    2、已经过CE认证。

技术参数

    1、输入电源:208V-240V  50Hz/60Hz   <3000W

    2、石英腔体:Ø100mm×130mm  

    3、样品台:Ø60mm,高度可调节,可加热到600

    4、温控器:30段可编程温度控制器,控温精度±1

    5、升温速率:15/min(推荐)

    6、靶材:纯度为4N金靶,Ø57mm×0.12mm

    7进气口:装有不锈钢针阀,可通入氩气,能实现更好的等离子涂层

产品规格

 尺寸:480mm×320mm×150mm;重量:20kg

标准配件

   1、金靶

   2、真空泵

   3、不锈钢波纹管

   4、快速卸装卡箍

可选配件

   AuPtAg

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