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  • 产品名称: GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪
  • 上架时间: 2017-04-28
  • 产品编号: 03050203
  • 浏览次数: 105

产品简介:GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪配备了热蒸发附件,具有溅射和蒸发两种功能。不但可以用等离子溅射的方式镀金属膜,也可以用蒸发的方式得到碳或其他金属单质的薄膜。本机能够满足扫描电子显微镜样品的制备和非导体材料实验电极的制作,也可以用于材料研究中各种新材料性能的实验。

 

产品型号

GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好

3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(带减压阀)

4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通风装置:不需要

主要特点

配备了热蒸发附件,可以蒸发碳丝或者其他材料,如铝、不锈钢等材料,同时具有溅射和蒸发的功能。因此扩展了应用范围,特别适用于扫描电镜样品的制备

技术参数

1、靶:Ø50mm

2、样品台:Ø50mm

3、真空室:Ø160mm×110mm

4、真空度:4×10-1mbar-2×10-2mbar

5、最大电流:50mA

6、可设定最长时间:9999s

7、最高电压:1600V   DC可调

8、真空泵:4L两级机械旋转泵,极限真空2×10-2mbar

标准配件

1

金靶材

1

2

碳绳

1

3

钨丝篮

2

4

热蒸发附件

1

5

进气针阀

1

6

保险丝

2

可选配件

金、铟、银、白金等各种靶材

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