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  • 产品名称: GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪
  • 上架时间: 2017-04-28
  • 产品编号: 03050202
  • 浏览次数: 71

产品简介:GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪依据二极DC直流溅射原理设计而成的最简单、可靠、经济的镀膜设备。本机特别之处是在一个真空室内安装了三个靶,旋转样品台可依次在同一样品上涂覆三种材料。因此,适用于实验室各种复合膜样品的制备,以及非导体材料实验电极的制作。

 

产品型号

GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好

3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(带减压阀)

4、工作台:尺寸600mm×600mm×00mm,承重50kg以上

5、通风装置:不需要

主要特点

1设有真空表、溅射电流表,可实时监控工作状态。

2通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀,控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体,以获得最佳镀膜效果

3钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计,可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。

4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。

5根据电场中气体电离特性,采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净。

6已通CE认证。

技术参数

1、靶:Ø45mm

2、真空室:Ø160mm×120mm

3、最高真空度:≤4×10-2mbar

4、靶位:3

5、最大电流:50mA

6、可设定最长时间:900s

7、微型真空气阀:连接Ø3mm软管

8、最高电压:1600V  DC

9、机械泵:2L/s

标准配件

1

金靶材

1

2

铜靶材

1

3

铝靶材

1

4

进气针阀

1

5

保险丝

2

可选配件

金、铟、银、铂等各种靶材


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