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SP-MSM-4CZ四电弧提拉法单晶生长炉是一款采用4电弧的提拉法单晶生长炉(采用Ar气电弧对样品熔融,提拉装置提拉),其温度可达3000℃。腔体为304不锈钢腔体(带有水冷夹层),真空度可达10-5Torr.此款单晶炉特别适合生长高熔点的单晶,如Ti单晶,YSZ,SiC和CeRh2Si等等。
产品名称 |
SP-MSM-4CZ四电弧提拉法单晶生长炉 |
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技术参数 |
腔体 |
1、采用304不锈钢腔体,带有水冷夹层,可通入冷却水 2、腔体上安装有石英窗口,以便观察样品 3、腔体真空度:10-5Torr(采用分子泵) 4、腔体尺寸:Φ257*360mm |
真空计 |
1、腔体上安装有数显防腐真空计和机械压力表 |
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电弧枪 |
1、共有4个电弧枪,可让样品得到均匀的温场(电弧枪都带有冷却水) 2、钨电极直径为Φ4mm 3、电弧腔体对样品的角度和距离可手动调节 4、起弧电源: 18 V / 185 A 电压380V 5、熔炼温度可达3000℃
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样品台 |
1、采用水冷铜坩埚 2、可投如样品量为60g(按铁计算) |
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提拉机构 |
1、控制器控制提拉机构的提拉速度,转速和转速 2、提拉速度:0.2-10mm/h 3、提拉行程:0-70mm 4、转速:0-40RPM |
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控制单元 |
1、可显示和设置单晶生长的参数(起弧电流,提拉杆转速,提拉行程和转速) |
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真空泵 |
1、设备中配有一分子泵系统(机械泵+涡旋分子泵) 2、抽气速率:100L/S 3、可使设备腔体的真空度达到10-5Torr(40分钟内) |
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循环水冷机 |
1、功率:800W 2、水流速度:58L/min 3、制冷能力:5004W(17500Btu/hour) 4、温度控制:5~30°C |
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产品规格 |
设备尺寸:800mm(L)*800mm(W)*1500mm(H) |
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