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GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪配备了热蒸发附件,具有溅射和蒸发两种功能。不但可以用等离子溅射的方式镀金属膜,也可以用蒸发的方式得到碳或其他金属单质的薄膜。GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪能够满足扫描电子显微镜样品表面喷金、蒸金或蒸碳过程使用以及非导体材料实验电极的制作,也可以用于材料研究中各种新材料性能的实验。本机体积小,节省实验室空间,操作简单,清理方便,适合初学人员的使用,尤其适用于各大高校的实验室、科研院所、及各企业的实验室的使用。配备了热蒸发附件,可以蒸发碳丝或者其他材料,如铝、不锈钢等材料,同时具有溅射和蒸发的功能。因此扩展了应用范围,特别适用于扫描电镜样品表面喷金或蒸金、蒸碳使用。
产品名称 |
GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪 |
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产品型号 |
GSL-1100X-SPC-16C |
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安装条件 |
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(带减压阀) 4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 5、通风装置:不需要 |
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主要参数 |
1、靶:Ø50mm 2、样品台:Ø50mm 3、真空室:Ø160mm×110mm 4、真空度:4×10-1mbar-2×10-2mbar 5、极限电流:50mA 6、可设定极限时间:9999s 7、极限电压:1600V DC可调 8、真空泵:4L两级机械旋转泵,极限真空2×10-2mbar(也可选配国产分子泵) |
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产品规格 |
尺寸:L400mm x W310mm x H390mm
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标准配件 |
1金靶材1个 2碳绳1根 3热蒸发附件1套 4进气针阀1个 5保险丝2个 |
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可选配件 | 金、铟、银、铂等各种靶材 |
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