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钙钛矿太阳能电池制备成套设备（一）
1、基片准备
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VGT-1620QTD超声波清洗机 |
PCE-22紫外臭氧清洗机 |
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FTO导电玻璃基底超声清洗+紫外臭氧清洗 |
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2、电子传输层制备
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VTC-100PA真空旋转涂膜机 |
DZF-6050真空干燥箱 |
HP-500V烤胶机 |
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旋涂+500℃退火制备二氧化钛致密层+二氧化钛介孔层 |
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3、钙钛矿层制备
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VTC-100ML全自动多层钙钛矿旋转涂层机 |
VTC-50B微型旋涂机 |
高通量全自动多工位旋涂仪 |
| 旋涂+105℃退火制备钙钛矿层 | ||
4、空穴传输层制备
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VTC-300BUSS超声雾化旋转涂膜机 |
VTC-300USS超声雾化旋转涂膜机 |
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旋涂spiro层 |
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5、电极层制备
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GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪 |
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蒸发150nm金电极 |
6、封装+性能测试
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钙钛矿太阳能电池制备成套设备（二）
1、基片准备
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VGT-1620TD超声波清洗机 |
PCE-22紫外臭氧清洗机 |
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FTO导电玻璃基超声清洗+紫外臭氧清洗 |
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2、电子传输层制备
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MSK-USP-04CT超声喷雾热解涂膜机 |
KSL-1200X箱式炉 |
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喷涂+退火制备二氧化钛致密层+二氧化钛介孔层 |
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3、制备钙钛矿层
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MSK-AFA-SD300 狭缝挤出型实验涂布机 |
PTL-MM02-200程控垂直提拉涂膜机 |
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涂覆500-2000nm钙钛矿层 |
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4、制备空穴传输层
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XMSK-AFA-PD100狭缝涂覆机 |
MSK-AFA-SD70-II狭缝涂覆机(分体式)(适用于手套箱) |
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涂覆500-2000nm钙钛矿层 |
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GSL-1800X-ZF6钙钛矿镀膜机 |
GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪 |
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蒸发沉积150nm金电极层 |
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6、封装+性能测试
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