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PCE-500W是一款较大型的 500W 等离子刻蚀清洗机，等离子腔体为8.5"diax14.4"L的石英腔体，采用的射频电源频率为13.56MH，功率0-500W 连续 可调节。此款设备功率高，可用于等离子刻蚀、等离子灰化、表面改性以及材料 掺杂改性等应用，对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。
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产品名称 |
500W 等离子刻蚀清洗机PCE-500W |
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产品型号 |
PCE-500W |
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| 主要参数 |
• 射频功率：0-500W • 总功率：1.5KW • 电源：AC220V 50/60Hz |
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射频电源 |
• 射频功率可在 0-500W 之间调节 • 频率：13.56MHz 注：可与本公司工作人员联系选购 1KW 高功率等离子刻蚀清洗机 |
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| 等离子腔体 |
• 8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高纯石英腔体 • 铝制折叠式法兰来进行真空密封 • 法兰上有一个直径为 60mm 的观察窗口 • 此设备完全屏蔽射频辐射，零射频泄漏 |
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| 控制面板 |
• 通过 6" 彩色触摸屏，可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等 • 仪器内部安装有一 0 - 100ml/minute 质量流量计，可精确地控制进气流量 |
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| 真空泵(选配) |
• 仪器必须使用抽气速率大于 4L/S 的真空泵（标配不含真空泵） • 极限真空度为 50mTorr  |
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通入气体 |
• 等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子，如 N2, Ar, Air，H2、 O2 和混合气体等等 (根据材料性质所定) • 不能使用易燃气体及腐蚀性气体。 |
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可选 |
• 可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片 • 可选购 2-4 通道质子或浮子混气系统  |
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产品尺寸 |
600mm L×600mm W×810mm H |
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质量认证 |
CE 认证 |
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质保期 |
• 一年保质期，终生维护
• 特别提示：
1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
2. 因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
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相关应用 |
• 请自行根据您的应用测试最佳的等离子功率 • 对于等离子清洗，根据工艺，通常保持射频功率在 10 - 100W 之间 • 对于等离子刻蚀，根据工艺，通常保持射频功率在 300-500W 之间 |
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