产品型号

HVS-03G高真空系统

技术参数

1、分子泵机组极限真空度（空载）：≤9×10-5Pa

2、真空系统漏率：≤5×10-9PaM3/s

3、电源：220v±10/50Hz

4、电源插头：16A

5、冷却方式：水冷或风冷（环境温度5-40℃）

6、平台承重：≤100kg

7、真空规参数：ZDF-11A2

测量范围：1.0×10 5 ～1×10 -5Pa

配接规管：ZJ-52T一只，ZJ-27一只

注意事项

1、拆开包装箱，将设备从箱体中取出，检查设备有无损坏，将设备的电源线接好，检查地线与设备是否接好。

2、在接入供电电源时，务必要确认是否和设备要求的电源电压相符。

设备安装应在平地上，竖直方向上与垂直方向上与垂直方向夹角小于5°。安装后要固定脚轮。

3、机械泵的排气口必须顺畅，不得在封堵排气口情况下启动泵。

4、机械泵在运转前检查油位，不要在泵没有加油或缺油的情况下使用否则会造成泵的失效。

5、观察机械泵油颜色，正常泵油是清洁和透明的；若泵油颜色变暗火浑浊时需要换油。切勿在泵温较高的情况下换油，必须等泵冷却到低于50℃的温度时方可换油。

6、分子泵正常运转时,请尽量避免在泵体及控制器附近施加比较大的或是频繁的震动,避免冲击钻作业和任何会产生较大磁场的作业。

7、启动分子泵前，系统压强≤100 Pa。