小型两通道供气系统CGM-2F是一种紧凑型双通道微量气体混合供气系统,输入的两种不同气体通过调节压力和流量,即可输出一种较准确的混合性气体,可用以小型管式炉、手套箱、等离子清洗机、小型PECVD系统。1、采用SS304精密不锈钢针阀。
2、采用1/4″管径不锈钢或聚四氟乙烯管。
3、无需外接电源。
产品型号 |
小型两通道供气系统CGM-2F |
技术参数 |
1、浮子流量计:10-100ml/min,两个 2、压力表:-0.1-1.0MPa(0.01MPa/grid),三个 |
产品规格 |
尺寸:340mm×300mm×180mm;重量:6.35kg |
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