SKJ-50晶体生长炉是用提拉法生长高质量氧化物单晶及金属单晶,如蓝宝石、GGG、YAG、SrLaAlO4、LaAlO3、Si、Ge等,最大可长出晶体尺寸达3" 。1、与同类相比属于小型晶体生长炉,适合于大专院校、研究所使用。
2、电子称在生长过程中可自动控制晶体的直径。
产品型号 |
SKJ-50晶体生长炉 |
安装条件 |
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水) 2、电:AC380V 50Hz(63A空气开关),必须有良好接地 3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带Ø6mm双卡套接头) 4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通风装置:需要 |
技术参数 |
1、电源:三相380V 25KW 2、感应射频:功率25KW,射频0.2KHz-20KHz 3、真空腔体:Ø500mm×700mm 4、真空度:10-3torr(机械泵),10-5torr(扩散泵) 5、最大提拉行程:500mm 6、提拉速度:0.1mm/h-20mm/h 7、籽晶杆旋转速度:0-40rpm 8、最大可熔融温度:2100℃ 9、控温精度:<±0.2℃ 10、冷却水:所需水压0.13MPa-0.18MPa,所需流量60L/min 11、移动速度:1mm/h-10mm/h可调 12、快速移动:手动 13、结晶转速:1rpm-50rpm 14、真空系统:机械泵和扩散泵 15、极限真空度:10-5torr |
产品规格 |
1、炉体:880mm×1250mm×2850mm 2、控制柜:680mm×540mm×1700mm 3、中频柜:1100mm×500mm×1500mm 4、总重:1500kg |
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