产品型号

1100℃多工位管式炉GSL-1100X-S

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通风装置：需要

技术参数

1、电压：AC220V, 50Hz

2、最大功率：1.5KW

3、加热区：300 mm

4、工作温度: 1000℃

5、最高温度: 1100℃（小于30min）

6、推荐升温速率:≤10℃/min

7、炉管尺寸及材质

石英管Φ50×610mm。

包括氧化铝管堵用于阻止来自内部管子的热辐射。（管堵在加热前必须完全插入炉腔）

8、温控系统

    全自动PID自整定功能

30 段可编程控制器，方便客户按自己要求设定升温曲线

设有超温及断偶保护

控温精度: ±1 ℃

K型热电偶

9、加热元件：掺钼铁鉻铝合金

10、密封法兰及真空连接

    不锈钢密封法兰(左端进气 口为1/4”软管接口, 右端抽气口为KF-25接口)

标准的1/4“带针阀的 宝塔嘴接口

为了可以使用高压气体，您可以用1/4＂软管接头替换标准宝塔嘴管接头

11、真空系统

包括双旋片机械泵(220V, 226 L/m) 油雾过滤器& KF-D25不锈钢真空波纹管和KF25 卡箍

真空度可达到1E-2 Torr ( 50 m-torr)（参考值）

分子泵：1E-5 Torr（参考值）

12、压力测量/检测：机械式压力表，测量压力范围为-0.1至0.15Mpa。

产品规格

260×380×400 mm (D x H x W)

重量：45Kg

可选配件

1、  石英管堵（可提高炉管内部真空度及洁净度）。

2、欧陆型温控仪表，控温精确度可以提升到±0.1℃（具体详情请致电我公司销售）。

3、两种不锈钢法兰可供选择：

    2"默认法兰，带1/4”宝塔嘴接头，1/4＂管通孔（用于1/4＂外径热电偶插件）和KF25真空接

 1＂法兰没有热电偶插头 

4、挡板阀连接真空系统

 5不锈钢波纹管（为了获得更快更好的真空度，我们推荐使用）

6、快速连接法兰

7、带有数显真空计和机械泵系统的炉子

8、KF25转接头替换标准宝塔嘴接头（为了达到高真空）

                   1英寸法兰                                             2英寸法兰

9、真空连接：

本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

KF25不锈钢波纹管

KF25快速装卸卡箍

10、真空系统

应用注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa

由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公 司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击