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光谱椭偏仪SE-Vi是一款集成式原位光谱椭偏仪，针对有机/无机镀膜工艺研究的需要开发的原位薄膜在线监测中的定制化开发，快速实现光学薄膜原位表征分析。光谱椭偏仪广泛应用于金属薄膜、有机薄膜、无机薄膜的物理/化学气相沉积，ALD沉积等光学薄膜工艺过程中实际原位在线监测并实时反馈测量物性数据。
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产品型号 |
SE-i 光谱椭偏仪 |
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技术参数 |
1、自动化程度：固定变角 2、应用定位：原位定制型 3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S等光谱 4、分析光谱：380-1000nm，支持按需定制化 5、单次测量时间：0.5-5s 6、重复性测量精度：0.01nm 7、入射角范围：65°（支持定制） |
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