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全自动椭偏检测机台作为一种小型椭偏集成机台，通过整体高度模块化，电、气路集成技术，实现不同椭偏测量模块在线/离线式整体椭偏测量解决方案。全自动椭偏检测机台广泛应用于科学研究中各种各向同性，异性薄膜材料的膜厚、光学常数以及一维、二维纳米光栅的结构表征；工业领域新型光电器件行业所涉及的薄膜（配向膜、光刻胶、ITO、发光薄膜、封装薄膜）全片离线化快速扫描测量。
1、支持实验室研究整体椭偏集成控制测量技术
2、支持产线大基片离线自定义多点扫描测量并输出报告
3、支持多椭偏方案，多组合集成
4、支持测头模块以及样件机台定制化
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产品型号 |
全自动椭偏检测机台 |
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技术参数 |
自动化程度 |
可变/固定角 |
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应用定位 |
高阶高精度型 |
高精度型 |
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单次测量时间 |
0.5-5s |
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分析光谱 |
380-1000nm（支持扩展至193-2500nm） |
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Mapping行程 |
支持100x100mm行程扩展 |
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支持样件尺寸 |
支持200mm样件 |
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