客服
留言
返回顶部

工作时间

周一至周五:8:00-11:30 12:30-17:00

产品中心

Products Center

#
  • #
  • #
  • #
#
产品名称: 双靶磁控溅射仪
产品型号: VTC-600-2HD-1000
产品简述:05050118
浏览次数: 3294
技术参数
设备视频
附件下载

VTC-600-2HD-1000双靶磁控溅射仪是我公司自主新研制开发的一款高真空镀膜设备,可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600-2HD-1000双靶磁控溅射仪配备有两个靶枪和两个电源,一个射频电源用于非导电材料的溅射镀膜,一个直流电源用于导电材料的溅射镀膜,可选配强磁靶用于铁磁性材料的溅射镀膜。与同类设备相比,且具有体积小便于操作的优点,且可使用的材料范围广,是一款实验室制备各类材料薄膜的理想设备。
1、配置两个靶枪,一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜,一个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜。
2、可制备多种薄膜,应用广泛。
3、体积小,操作简便。

产品名称 VTC-600-2HD-1000双靶磁控溅射仪
产品型号
VTC-600-2HD-1000
安装条件 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)
2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地
3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带Ø6mm双卡套接头)及减压阀
4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
5、通风装置:需要
主要参数
1、输入电源:220V/50Hz
2、溅射靶数量:2
3、腔体内径:Ø300mm
4、靶枪冷却方式:水冷
5、极限真空度:7.4E-5pa
6、真空室规格:Φ300×330 mm
7、真空系统:VRD-16机械泵 FF-100/150涡轮分子泵
8、恢复真空:系统从大气抽至5.0E-3pa≤30 min(系统短时间暴露大气)
9、充气系统:2路质量流量计(1路氩气100scc、2路氩气200scc)特殊气体可定制
10、溅射靶规格:Φ2",厚度0.1-5mm(因靶材材质不同厚度有所不同)
11、样品台:Φ140mm/可旋转(1~20rpm)/可加热(室温~1000℃)
产品规格

主机尺寸:宽900mm×深650mm×高1100mm

相关文章

免责声明

本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等),仅供参考。可能由于更新不及时,或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异,请与本公司销售人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知。

在线留言

请填写表格与我们联系

看不清楚,换一张