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PCE-6V小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术，采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵，清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面，可短时间内彻底清洗掉有机污染物，清洗程度可达到分子级。PCE-6V小型等离子清洗机的样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现对样品的离子蚀刻。此外，其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。设备体积小，操作简单，应用广泛。
1、采用气体作为清洗介质，避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。
2、可短时间内彻底清洗掉有机污染物。
3、清洗程度可达到分子级。
4、可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。
5、清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。
6、样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻。
7、广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。
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产品名称 |
PCE-6V小型等离子清洗机 |
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产品型号 |
PCE-6V |
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主要参数 |
1、电压：AC220V 10A 2、消耗功率：<500W（包括真空泵） 3、RF电源：输出功率100W，输出频率13.56MHz 4、腔体：Ø190mm×98mm 5、石英管：Ø180mm×55mm，壁厚7mm 6、内腔：Ø165mm×55mm 7、清洗电极：Ø120mm 8、样品台：Ø150mm，有效尺寸Ø140mm 9、样品台与电极间距：15mm-50mm可调 10、抽气管：Ø12mm 11、极限真空度：0.1Pa 12、工作真空度：60Pa-500Pa 13、气路数量：2路（选装） 14、流量控制器数量：1、2 15、流量显示仪：2通道 16、气路接口：Ø6mm 17、加热样品台：Ø100mm，加热样品温度200℃-500℃（选装） 18、冷却水压力：0.2KPa-0.4KPa 19、工作环境：温度5℃-35℃，湿度<80%（相对湿度）不结露，海拔高度0-2000m |
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| 产品规格 |
尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵）
重量：20kg（不含真空泵） |
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| 可选配件 |
1、加热样品台 2、流量控制器（量程10、50、100，可增加通道数≤2） |
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