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GPC-100A精确磨抛控制仪简称磨抛控制仪，主要用来控制被研磨样品表面的平面度和平行度，使磨抛后的样品具有高的尺寸精度和质量优良的表面状态。磨抛控制仪采用质量优良的不锈钢材料制成，外形美观，制造工艺精湛，主要适用于UNIPOL-1202、UNIPOL-1502研磨抛光机上，是工件进行磨抛时不可缺少的精密磨抛器具，尤其适用于晶圆样品、表面平行度和平面度要求高的大的圆片状样品的研磨。GPC-100A精确磨抛控制仪专用载样块用螺纹与控制仪进行连接，试样装卡方式为真空吸附，并配有数显厚度测量仪，可实时监测样品减少的厚度，承载样件直径不大于103mm、厚度不大于13mm且具有工艺重复性高的优点。
可严格控制被磨样品表面的平行度和平面度，控制准确度高。研磨过程中可搭配数显测厚仪使用，随时观测样品磨削量，尤其适用于表面平行度和平面度及样品厚度要求高的晶圆样品研磨使用。
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产品名称 |
GPC-100A精确磨抛控制仪 | |
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产品型号 |
GPC-100A | |
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安装条件 |
1.本设备要求在温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 2.水：配水源。 3.电：无。 4.气：真空泵（0— -0.1MPa）。 5.外形尺寸：φ146mm*266mm 6.通风装置：需要。 |
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主要参数 |
1、载样盘直径：Ø103mm 2、载样盘轴向行程：12mm 3、数显表精度：0.001mm 4、载样盘可调加载压力：0.1kg-2.1kg 5、压力确认仪有效量程：1g-5000g 6、样品装卡方式：真空吸附 7、承载样件尺寸：直径≤103mm、厚度≤12mm |
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| 产品规格 |
尺寸：外径146mm，高266mm |
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| 标准配件 |
1、真空泵 2、过滤瓶 3、底座 4、玻璃片 |
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