沈阳科晶自动化设备有限公司

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产品名称：化学机械磨抛机

产品型号： UNIPOL-1203

产品简述：自动桌面式磨抛机，CMP平

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UNIPOL-1203化学机械磨抛机，适用于CMP平坦化和平滑化工艺技术，整机研磨部分采用防腐材料，耐化学腐蚀，配置自动滴料器和精密磨抛控制仪，全自动触摸屏面板，从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型加工的需求。 1、超平不锈钢抛光盘（平面度为每25mm×25mm小于0.0025mm）。
2、超精旋转轴（托盘端跳小于0.01mm）。
3、设有两个加工工位，可分别进行控制。
4、配有全自动控制触摸屏面板，可设置主轴转速、摆臂速度、磨抛时间。
5、配置自动滴料器，流量速率可视化调整，自动研磨和抛光。
6、配置GPC-100A精密磨抛控制仪，可调节压力，修整面型，使磨抛更加方便快捷。
7、研磨部分采用防腐材料，耐化学腐蚀。

产品名称	UNIPOL-1203化学机械磨抛机
产品型号	UNIPOL-1203
安装条件	本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：设备配有上水口及下水口，需自行连接自来水及排水 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：无 4、工作台：尺寸800mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通风装置：不需要
主要参数	主机部分
	1、电源:220V 2、功率:450W 3、磨抛盘转速:10-240rpm 4、磨抛工位:2个 5、摆臂调节档位:1-15档 6、托盘端跳:0.008/250mm 7、不锈钢磨抛盘:φ300mm 8、载样盘:φ105mm 9、修盘环:φ127.5mm
	GPC-100A精密磨抛控制仪
	1、载样盘直径：Ø103mm 2、载样盘轴向行程：12mm 3、数显表精度：0.001mm 4、载样盘可调加载压力： 0.1kg-2.1kg 5、压力确认仪有效量程：1g-5000g 6、样品装卡方式：真空吸附 7、承载样件尺寸：直径≤103mm、厚度≤12mm 8、尺寸：外径146mm，高266mm
	自动滴料器
	SKZD-2滚筒滴料器 1、容积：1.5L 2、流量：0-35ml/min 3、尺寸：170×290×350mm；重量：3kg SKZD-4自动滴料器 1、加液泵：4个 2、料液瓶：600ml/瓶 3、计时范围：1-999min 4、流量：0.1ml/min-10ml/min 5、尺寸：230×370×450mm；重量：10kg
产品规格	1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm 2、重量:74Kg

序号	名称	数量	图片链接
1	铸铁磨盘（Ф300mm花盘）	1个
2	不锈钢磨盘（Ф300mm平盘）	1个
3	载物盘（陶瓷）	1个
4	修盘环（陶瓷）	1个
5	抛光垫（磨砂革、合成革、聚氨酯）	各1片
6	磁力片（带背胶）	2片
7	研抛底片	2片
8	刚玉研磨微粉	0.5kg
9	石蜡棒	4根
10	二氧化硅悬浮抛光液 2040 W0.05	1瓶

序号	名称	功能类别	图片链接
1	YJXZ-12搅拌循环泵	（可选）
2	精密测厚仪	（可选）
3	陶瓷研磨盘	（可选）
4	玻璃研磨盘	（可选）
5	磁性树脂金刚石研磨片	（可选）