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产品名称: 多工位旋涂系统
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技术参数
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多工位旋涂系统是一款高通量旋涂设备,整个旋涂过程在手套箱内保护气体(N2/Ar2)氛围内完成。系统配备5个旋涂工位,可同时实现自动旋涂,每个旋涂工位参数可单独在触摸屏上设置。调速系统则采用了抗干扰性高的单片机进行控制,使得转数在高达100-6000RPM范围内都非常稳定。样品固定采用带槽的聚丙烯样品卡盘固定基片,根据基片的形状和大小的不同,可在随机配送的模板上开不同形状和大小的槽,使用方便操作简单,对基片无损伤。

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